作成した膜厚サンプルについて、膜厚を測定できるかできないか無料にてお試しいただけます。サンプルを郵送いただければ、結果を数日でレポート致します。またご希望に応じてSkype,Teams,TeamViewer,Zoomなどのオンラインサービスを使用して膜厚測定を実演致します。
各種膜厚測定の手法やそれらの特長について解説します。
分光反射率測定・透過率測定による膜厚や光学定数解析の事例
卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程(半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll)への取付にも柔軟に対応します。
卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程(半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll)への取付にも柔軟に対応します。
極めて小さいエリアでの膜厚測定を可能にした装置です。測定エリア(測定スポットサイズ)や観察視野範囲は顕微鏡の対物レンズの倍率に依存します。半導体やディスプレイなどパターンのあるサンプル測定に適しているのは勿論のこと測定スポットサイズを極小化できるので表面の粗いサンプルは粗さの影響を軽減できることから粗面サンプルの厚さ測定にも適しています。観察モニタをディスプレイ上にフル表示できるので視野を広く視認できストレスのない測定を実現しています。
卓上型自動膜厚マッピングシステムです。製造プロセスにおけるカセットシステムにも応用が可能です。例えばCMP後のポリシリコン膜や酸化膜の厚さムラを無駄のない理にかなったステージモーションで高速に測定します。そのため製造プロセスにおけるタクトタイムの短縮に貢献します。 測定時間目安:625ヶ所/1分(8インチウェーハにて等間隔測定時)
WCT-120は手頃な価格で卓上型の半導体ウェーハのライフタイム測定器でありデバイスの研究とプロセスコントロールの両方に適しています。
SEMI Standard PV-13に準拠しています。
WCT-120は1994年にSinton社が開発した準定常光伝導法によるライフタイム測定(QSSPC法 = Quasi-Steady-State Photoconductance)です。
WCT-120TSはWCT-120に温度調整ステージが装備された測定器です。
半導体ウェーハの温度依存のライフタイム測定ができます。
WCT-120のQSSPC法とフォトルミネッセンス法の両方を使用して、シリコンウェーハの校正されたキャリア再結合ライフタイムを測定します。
太陽電池のペーストの最適化とプロセスコントロールの評価装置です。
本評価装置のオープンサーキット法(開回路法)は接合形成後の太陽電池前駆体の上限を示します。
Suns-Voc MXはWCT-120の附属品として利用可能です。
BLS-I / BCT-400は表面のパッシベーション必要なしで単結晶または多結晶のシリコンインゴットのライフタイムを非接触で測定します。
SEMI Standard PV-13に準拠しています。
太陽電池セルのI-V測定試験機です。
電極へコンタクトするためのチャックプレートが含まれています。
太陽電池モジュールのI-V測定試験機です。
特許取得のマルチフラッシュ技術を使用し最高の正確さを有しています。
20GW以上のモジュールがFMT-500を使用してテストされています。