WCT-120 シリコンウェーハ ライフタイム測定＜The Standard Offline Wafer-Lifetime Tool＞
メーカー
Sinton
型番
WCT-120
分野・用途
半導体材料評価、太陽電池評価・特性測定装置
WCT-120は手頃な価格で卓上型の半導体ウェーハのライフタイム測定器でありデバイスの研究とプロセスコントロールの両方に適しています。
SEMI Standard PV-13に準拠しています。
WCT-120は1994年にSinton社が開発した準定常光伝導法によるライフタイム測定（QSSPC法 = Quasi-Steady-State Photoconductance）です。
用途・特徴
半導体ウェーハの品質と結晶化度に関してキャリアライフタイムと表面再結合速度をQSSPC法で高精度で測定します。
- ウェーハ製造プロセスにおける段階的なモニタリングと最適化
- 初期の材料品質のモニタリング
- プロセス中の重金属のコンタミネーションの検出
- 表面パッシベーションと放射ドーパント拡散の評価
- 暗電流I-V測定によるプロセス起因のシャントの評価
- ウェーハ製造プロセスにおける段階的なモニタリングと最適化
- 初期の材料品質のモニタリング
- プロセス中の重金属のコンタミネーションの検出
- 表面パッシベーションと放射ドーパント拡散の評価
- 暗電流I-V測定によるプロセス起因のシャントの評価
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WCT-120の分析は、各ウェーハの校正キャリア注入レベルを生成するもので、物理的に正確な方法でライフタイムデータを解釈することができます。
対象となる特定のパラメータが各測定値に対して表示されログに記録されます。
