アプリケーションノート

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メーカー
θ Metrisis (ThetaMetrisis) 膜厚計
型番
FRシリーズ
分野・用途
シリコンウェーハの厚さ測定 , 板厚測定 , 膜厚測定

分光反射率測定・透過率測定による膜厚や光学定数解析の事例

用途・特徴

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