自動膜厚マッピングシステム
・厚さ数十ナノメートルから数十ミクロンレンジの膜厚測定を得意とする膜厚計です。ボタン１つで瞬時に結果が判ります。
・単層の厚さのみならず最大５層を同時測定できます。（サンプルの構成や各層の光学特性により異なります。）
・膜厚測定のみならず、屈折率や消衰係数の光学定数解析が可能です。
・測定ステージのアームにはハイトアジャスターが標準装備。ウェーハ、フィルムといったシート状の薄い基材のみならず高さのあるガラス基板やブロック形状物にも柔軟に対応します。
・ファイバ先端に焦点距離可変レンズを取り付けることで測定スポットサイズを自由に可変できます。これは粗面サンプルでは難しい膜厚測定が粗面の影響を軽減させることで膜厚測定を行いやすい効果があります。
・光源にはLEDランプを搭載。寿命は約20000hで一般ハロゲンランプの約20倍長寿命でありランニングコストに貢献します。