膜厚計とは、塗膜やフィルムなどの定規で測定できないとても薄い膜の厚さを測る測定器です。
膜厚は用途によっては厚過ぎても薄すぎてもいけないため、「適正な厚さに仕上がっているか?」を確認する必要があります。
ThetaMetrisisの膜厚測定器は、「反射率分光法」を用いて測定します。取扱いが簡単で、非接触での高精度かつスピーディな測定が可能です。
ThetaMetrisisの膜厚計の活用シーン 反射率分光法で測定できる条件 ThetaMetrisisの膜厚測定器一覧
測定結果は日本語ソフトで閲覧可能です。
レジスト、高分子材料、透明電極材料
スピンコート、ディップコート、スプレー吹付、蒸着、
スパッタリング
酸化膜、窒化膜、レジスト、Low-k、Siウェーハ厚
ウェーハハンドリング工程に取り付け可能
ハードコート、熱線カット
反射防止コート
DLC
透明または半透明で光を通す材料であること
基材と膜に屈折率差があること
膜表面や基材表面が粗くなく鏡面に近いこと(ご自身の顔が映らない場合は粗面です)
反射率分光法では下記のような事例は測定できないため、他の測定手法で測定します。
事例
他の手法(測定原理)
膜厚が5nm(ナノメートル)以下
AFM、SEMでの断面観察、エリプソメータ
膜が光を通さない
段差計、干渉計、レーザ顕微鏡、渦電流式、蛍光X線
測定箇所が粗すぎる
段差計、レーザ顕微鏡、渦電流式(ブラスト処理、ヘアライン、など)
作成した膜厚サンプルについて、反射率分光法で測定できるかどうかを
無料にてお試しいただけます。
測定器によって、性能や価格はさまざまです。
レスターコミュニケーションズは、
お客様のご要望に合った測定器をご提案します。
国家標準へのトレーサブルのとれた膜厚標準器で検査ができます。
検査後は下記書類をご提供致します。
食用包装フィルムの企業様
フィルムの量産工程でインライン膜厚モニターを導入。
年間数万トンもの原材料を管理でき材料ロスが解消した。
エレクトロニクス向けフィルムの企業様
フィルムの製造工程において幅方向の膜厚ムラを
リアルタイムで測定でき、取引先の全数検査の要求に応えられた。
化学材料メーカー様
微細パターニングした極小箇所のレジストの膜厚測定ができ、
材料開発の改善に繋げられた。
某材料メーカー様
レスターは標準器による検査サービスがあるので
安心してこの膜厚計を運用できる。
化学材料メーカー様
数多い膜厚計メーカーの中でとにかく安かった。
レンズメーカー製造技術様
他社で断られた測定が難しい内容でも、治具提案をいただき
量産工程で測定できるようになった。
レスターコミュニケーションズは、
これまで蓄積された豊富な実績とノウハウを活かし、
お客様に最適な測定器をご提案いたします。
まずはお気軽にご相談ください。