極めて小さいエリアでの膜厚測定を可能にした装置です。測定エリア(測定スポットサイズ)や観察視野範囲は顕微鏡の対物レンズの倍率に依存します。半導体やディスプレイなどパターンのあるサンプル測定に適しているのは勿論のこと測定スポットサイズを極小化できるので表面の粗いサンプルは粗さの影響を軽減できることから粗面サンプルの厚さ測定にも適しています。観察モニタをディスプレイ上にフル表示できるので視野を広く視認できストレスのない測定を実現しています。
タイプ | FR-Mic UV/VIS | FR-µProbe | FR-Mic UV/NIR | |
分光波長範囲 | 200nm-850nm | 370nm-1020nm | 200nm-1700nm | |
膜厚測定範囲 | 5倍 | - | 20nm-70µm | 20nm-120µm |
10倍 | - | 20nm-50µm | 20nm-90µm | |
15倍 | 5nm-20µm | - | 5nm-60µm | |
20倍 | - | 20nm-20µm | 20nm-40µm | |
50倍 | - | 20nm-10µm | 20nm-20µm | |
測定の正確さ | ±0.2% または 1nm どちらか大きい方 | |||
測定安定性* | 0.06nm | |||
光学定数解析 | 可 |
*測定安定性 ( SiO2 on Si 酸化 膜膜 厚スタンダード 1µm を 15 日間以上測定した 1 日平均の標準 偏差
・半導体関連膜(ポリシリコン、アモルファスシリコン、フォトレジスト、酸化膜、窒化膜、Low-k材料、など)
・ディスプレイ関連膜(アモルファスシリコン、フォトレジスト、カラーレジスト、透明電極ITO、ポリイミド、反射防止コーティング、ハードコーティング、など)
・機能性フィルム(包装フィルム、離形処理層、易接着層、粘着膜、有機膜、無機膜、フッ素コーティング、PETフィルムなどの原反厚さなど)
・その他膜種(DLC、TiO2光触媒膜、各クリア塗装、など)
・顕微分光透過率の測定(ディスプレイの極小画素、表示用パネル、など)