FR-μProbe / 微小領域膜厚測定器

メーカー

θ Metrisis (ThetaMetrisis) 膜厚計

型番

FR-μProbe

分野・用途

顕微分光システムおよび顕微鏡 , 分光反射率の測定 , 分光透過率の測定

極めて小さいエリアでの膜厚測定を可能にした装置です。測定エリア（測定スポットサイズ）や観察視野範囲は顕微鏡の対物レンズの倍率に依存します。半導体やディスプレイなどパターンのあるサンプル測定に適しているのは勿論のこと測定スポットサイズを極小化できるので表面の粗いサンプルは粗さの影響を軽減できることから粗面サンプルの厚さ測定にも適しています。観察モニタをディスプレイ上にフル表示できるので視野を広く視認できストレスのない測定を実現しています。

用途・特徴

微小領域膜厚測定器
・厚さ数十ナノメートルから数十ミクロンレンジの膜厚測定を得意とする膜厚計です。ボタン１つで瞬時に結果が判ります。
・エッチング、リソグラフィなどパターン形成後の極小領域の膜厚測定が可能です。
・極小エリアを大画面に映し出すことができストレスのない測定が可能です。
・膜厚測定のみならず、屈折率や消衰係数の光学定数解析が可能です。
・三眼鏡筒の光学顕微鏡に取り付けられます。（機種により対応波長が異なります。）

性能・仕様

タイプ		FR-Mic UV/VIS	FR-µProbe	FR-Mic UV/NIR
分光波長範囲		200nm-850nm	370nm-1020nm	200nm-1700nm
膜厚測定範囲	5倍	-	20nm-70µm	20nm-120µm
	10倍	-	20nm-50µm	20nm-90µm
	15倍	5nm-20µm	-	5nm-60µm
	20倍	-	20nm-20µm	20nm-40µm
	50倍	-	20nm-10µm	20nm-20µm
測定の正確さ	±0.2% または 1nm どちらか大きい方
測定安定性*		0.06nm
光学定数解析		可

*測定安定性 ( SiO2 on Si 酸化膜膜厚スタンダード 1µm を 15 日間以上測定した 1 日平均の標準偏差

測定膜種例

・半導体関連膜（ポリシリコン、アモルファスシリコン、フォトレジスト、酸化膜、窒化膜、Low-k材料、など）
・ディスプレイ関連膜（アモルファスシリコン、フォトレジスト、カラーレジスト、透明電極ITO、ポリイミド、反射防止コーティング、ハードコーティング、など）
・機能性フィルム（包装フィルム、離形処理層、易接着層、粘着膜、有機膜、無機膜、フッ素コーティング、PETフィルムなどの原反厚さなど）
・その他膜種（DLC、TiO2光触媒膜、各クリア塗装、など）
・顕微分光透過率の測定（ディスプレイの極小画素、表示用パネル、など）