非接触膜厚測定 / 分光反射率測定 / 分光透過率測定 / 光学定数(屈折率/消衰係数)測定
7件中/1-7件目を表示
作成した膜厚サンプルについて、膜厚を測定できるかできないか無料にてお試しいただけます。サンプルを郵送いただければ、結果を数日でレポート致します。またご希望に応じてSkype,Teams,TeamViewer,Zoomなどのオンラインサービスを使用して膜厚測定を実演致します。
各種膜厚測定の手法やそれらの特長について解説します。
分光反射率測定・透過率測定による膜厚や光学定数解析の事例
卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程(半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll)への取付にも柔軟に対応します。
卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程(半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll)への取付にも柔軟に対応します。
極めて小さいエリアでの膜厚測定を可能にした装置です。測定エリア(測定スポットサイズ)や観察視野範囲は顕微鏡の対物レンズの倍率に依存します。半導体やディスプレイなどパターンのあるサンプル測定に適しているのは勿論のこと測定スポットサイズを極小化できるので表面の粗いサンプルは粗さの影響を軽減できることから粗面サンプルの厚さ測定にも適しています。観察モニタをディスプレイ上にフル表示できるので視野を広く視認できストレスのない測定を実現しています。
卓上型自動膜厚マッピングシステムです。製造プロセスにおけるカセットシステムにも応用が可能です。例えばCMP後のポリシリコン膜や酸化膜の厚さムラを無駄のない理にかなったステージモーションで高速に測定します。そのため製造プロセスにおけるタクトタイムの短縮に貢献します。 測定時間目安:625ヶ所/1分(8インチウェーハにて等間隔測定時)