ミクロンレベル、ナノレベルといった非常に薄いもの(薄膜)は、定規のように手早くその厚さを測定できるものではありません。何かしらの膜厚測定手法を考える必要があります。マイクロメータ、ノギス、顕微鏡による断面観察、レーザや共焦点顕微鏡、膜の段差を針を落として測定、光学式、渦電流、蛍光X線など手法は多々存在しますがどれも万能ではなく経験のない方はどれを選べばベストなのか判断に悩まれると思います。さらには技術面でどの手法が一番確実で精度が高い測定手法なのか、膜厚測定精度は落としても良いから膜厚をとにかくスピーディに測定したいや他の膜厚測定器や手法との相関性が取れていれば良いのか、実製品の厚さを測定するので非接触で測定したい、全面の膜厚ムラの分布を知りたい、人による測定値のバラツキをなくしたい、など求める内容/程度も異なってきます。弊社では20年以上に渡り多くの企業様や官公庁様、大学様のサンプルの膜厚測定を経験させて戴き技術面でのノウハウを蓄積してまいりました。そこからお客様のサンプルの膜厚測定を実施させて戴くことで膜厚測定器導入検討や機種選定の一助になれば幸甚です。
【膜厚測定要求一例】
・PETフィルムなどの原反の厚さやコーティング厚さを高速生産ライン上で厚さをリアルタイムでモニタリングしたい
・ガラス上に成膜した数十ナノレベルの機能性薄膜(撥水、ハードコート、潤滑、など)の厚さを測定したい
・半導体材料の厚さを測定したい、パターニング形成後の狭小部のレジストの膜厚を測定したい。
・機能性コーティング膜の厚さを測定したい
・塗料上のクリア膜の厚さを測定したい
・柔らかくて脆い膜の厚さを測定したい