FR-pRo / 光学式非接触膜厚測定器

光学式非接触膜厚測定器
■厚さ数十ナノメートルから数十ミクロンレンジの膜厚測定を得意とする膜厚計です。ボタン１つで瞬時に結果が判ります。
■層の厚さのみならず最大５層を同時測定できます。（サンプルの構成や各層の光学特性により異なります。）
■膜厚測定のみならず、屈折率や消衰係数の光学定数解析が可能です。別売附属品での分光透過率測定も可能です。
■測定ステージのアームにはハイトアジャスターが標準装備。ウェーハ、フィルムといったシート状の薄い基材のみならず高さのあるガラス基板やブロック形状物にも柔軟に対応します。
■ファイバ先端に焦点距離可変レンズを取り付けることで測定スポットサイズを自由に可変できます。これは粗面サンプルでは難しい膜厚測定が粗面の影響を軽減させることで膜厚測定を行いやすい効果があります。
■別売で温度調整ステージを用意しており薄膜に対して温度を変えあげることで膜厚の温度依存をリアルタイムでモニタリングできます。