WCT-120TS　シリコンウェーハ 温度依存ライフタイム測定＜Temperature Dependent Lifetime Measurement＞

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WCT-120TS　シリコンウェーハ 温度依存ライフタイム測定＜Temperature Dependent Lifetime Measurement＞
メーカー
Sinton
型番
WCT-120TS
分野・用途
半導体材料評価、太陽電池評価・特性測定装置

WCT-120TSはWCT-120に温度調整ステージが装備された測定器です。
半導体ウェーハの温度依存のライフタイム測定ができます。

用途・特徴

25℃～200℃の範囲における温度別の半導体ウェーハの品質と結晶化度に関してキャリアライフタイムと表面再結合速度を高精度で測定します。
　- ウェーハ製造プロセスにおける段階的なモニタリングと最適化
　- 初期の材料品質のモニタリング
　- プロセス中の重金属のコンタミネーションの検出
　- 表面パッシベーションと放射ドーパント拡散の評価
　- 暗電流I-V測定によるプロセス起因のシャントの評価

WCT-120_graph.png

温度と注入依存のライフタイム測定結果

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WCT-120TS製品カタログ
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