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卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程(半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll)への取付にも柔軟に対応します。
卓上型非接触式膜厚計です。成膜した直後すぐに測定したい場合に便利です。各生産工程(半導体前工程やフィルムの流延やRoll to Roll)への取付にも柔軟に対応します。
極めて小さいエリアでの膜厚測定を可能にした装置です。測定エリア(測定スポットサイズ)や観察視野範囲は顕微鏡の対物レンズの倍率に依存します。半導体やディスプレイなどパターンのあるサンプル測定に適しているのは勿論のこと測定スポットサイズを極小化できるので表面の粗いサンプルは粗さの影響を軽減できることから粗面サンプルの厚さ測定にも適しています。観察モニタをディスプレイ上にフル表示できるので視野を広く視認できストレスのない測定を実現しています。